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USC干式清洗機(jī)主要用光電行業(yè)玻璃清洗;

技術(shù)參數(shù)：

PASSLINE             ：900±10mm

流動(dòng)方向             ：從左至右1臺(tái)，從右至左1臺(tái)（面對(duì)操作面）

基板尺寸             ：370×470mm（寬度方向?yàn)?70mm）

基板厚度             ：0.4～1.1mm

處理能力             ：24秒/片

外觀                 ：透明PVC板

設(shè)備機(jī)構(gòu)及性能：

工作臺(tái)：

工作平臺(tái)材質(zhì)    ：S45C。

玻璃基板定位    ：邊定位。

基板固定方式    ：真空吸附固定玻璃基板。

真空源          ：真空發(fā)生器。

真空臺(tái)面尺寸    ：348×466mm。

臺(tái)面平面精度    ：±0.02mm。

升降重復(fù)精度    ：±0.02mm

平臺(tái)驅(qū)動(dòng)        ：伺服電機(jī)+精密滾珠絲桿。